Modelagem com procedimentos experimentais de sistemas de pré-vácuo complexos - SECCO, Kevin Machado Sanches (002, 2022)
Este trabalho trata sobre modelagem matemática de sistemas de vácuo, mais especificamente, do bombeamento da pressão em função do tempo para um arranjo de vácuo com duas câmaras isovolumétricas. Para a resolução da equação do processo de bombeamento são usados métodos numéricos e o software Scilab.

This work deals with mathematical modeling of vacuum systems, more specifically, pumping pressure as a function of time for a vacuum arrangement with two isovolumetric chambers. Numerical methods and Scilab software are used to solve the pumping process equation.
Keywords: Microeletrônica; Tecnologia do vácuo; Sistemas de modelagem; Modelos matemáticos; Controle e Processos Industriais