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Modelagem com procedimentos experimentais de sistemas de pré-vácuo complexos

Resumo

Este trabalho trata sobre modelagem matemática de sistemas de vácuo, mais especificamente, do bombeamento da pressão em função do tempo para um arranjo de vácuo com duas câmaras isovolumétricas. Para a resolução da equação do processo de bombeamento são usados métodos numéricos e o software Scilab.
This work deals with mathematical modeling of vacuum systems, more specifically, pumping pressure as a function of time for a vacuum arrangement with two isovolumetric chambers. Numerical methods and Scilab software are used to solve the pumping process equation.

Descrição

Citação

SECCO, Kevin Machado Sanches. Modelagem com procedimentos experimentais de sistemas de pré-vácuo complexos, 2022. Trabalho de conclusão de curso (Curso Superior de Tecnologia em Microeletrônica) – Faculdade de Tecnologia de São Paulo, São Paulo, 2022.

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Governo do Estado de SP