Projeto e fabricação de transistores nmosfet de baixo custo

Abstract

A descoberta da microeletrônica revolucionou a indústria e a vida da humanidade, hoje a microeletrônica está empregada em diversas áreas de atuação e está presente no cotidiano das pessoas, independente da faixa etária ou classe social. As pesquisas e o conhecimento da microeletrônica geraram benefícios econômicos, tecnológicos, na saúde e trouxe crescimento para os países que investiram e investem na evolução desta tecnologia. Este trabalho tem como objetivo auxiliar no crescimento do ecossistema da microeletrônica, propondo um processo de fabricação de transistor NMOS com um custo baixo, reduzindo custo com a foto-máscara, diminuindo o material metálico e seguindo um processo que utiliza menos equipamento, assim incentivar o ensino dos processos e caracterização da tecnologia MOS, também auxiliar no custo das pesquisas. Este projeto da sequência a um trabalho de estágio que não foi finaliza, onde foi realizada melhorias no projeto desenhado no software AutoCAD seguindo a largura mínima de 50 µm (resolução do fotolito segundo o trabalho anterior). Com o projeto impresso foi obtida algumas características intrínsecas relacionadas ao software, projeto e impressão, levando à um segundo projeto com melhores resultados. Houve dificuldade no alinhamento, mas no final do processo obteve-se transistores e componentes funcionais, a tecnologia apresenta uma tensão limiar de aproximadamente 0,1 V, o projeto permitiu a montagem de alguns componentes analógicos e digitais.